Створено модифіковану динамічну дифракційну модель високороздільної рентгенівської дифрактометрії, в якій враховано ефекти асиметрії інтенсивності дифузного розсіяння (ДР) від мікродефектів з розкидом і розмірами, інтенсивність теплового ДР, а також вплив скінченної величини приймальної апертури детектора й інших інструментальних факторів на відбивну здатність кристала. Вперше для трикристального дифрактомера, створеного з використанням розробленої моделі, показано суттєвий вплив ефектів асиметрії ДР від мікродефектів у монохроматорі на форму вимірюваних дифракційних профілів. Доведено, що даний ефект є причиною різкого асиметричного перепаду висоти псевдопіка у порівнянні з висотою головного піка за наявності протилежних відхилень досліджуваного кристала, природа якого не була відомою. Встановлено природу чутливості кривих дифракційного відбиття до типу дефектів навіть з однаковими або близькими розмірами (преципітатів і дислокаційних петель), обумовлену спільним урахуванням у модифікованій дифракційній моделі дифузного розсіяння Хуана - Кривоглаза і Стокса - Вільсона, а також ефектів асиметрії. Обгрунтовано можливість використання розробленої моделі для визначення кількісних характеристик складної дефектної структури монокристалів кремнію, вирощених методами зонної плавки та Чохральського, а також перевірки існуючих теоретичних моделей кінетики дефектоутворення в кристалах.

  Скачати повний текст